對真空容器殼體及內(nèi)部零件材抖的要求

①真空泵有足夠的機械強度和剛度來保證殼體能承受住室溫和烘烤溫度下的大氣壓力，并且在加熱烘烤(特別是對超高真空系統(tǒng)) 時不發(fā)生變形。

②氣密性好。要保持一個完好的真空環(huán)境，器壁材料不應(yīng)存在多孔結(jié)構(gòu)、裂紋或形成滲漏的其他缺陷。有較低的滲透速率和出氣速率。

③在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低(對超高真空系統(tǒng)來說尤其重要)。

④化學(xué)穩(wěn)定性好。不易氧化和腐蝕，不與真空泵中的工作介質(zhì)及工藝過程中的放氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

⑤熱穩(wěn)定性好。在系統(tǒng)的工作溫度(高溫與低溫)范圍內(nèi)，保持良好的真空性能和機械性能。

⑥在工作真空度及工作溫度下，真空容器內(nèi)部器件應(yīng)保持良好的工作性能，滿足作業(yè)工藝的要求。

⑦有較好的延展性、機械加工性能和焊接性能，容易加工成復(fù)雜形狀的殼體。