主泵羅茨泵的選擇主要考慮其抽速的大小，由于VPD設(shè)備對(duì)達(dá)到工作真空度所需要抽氣時(shí)間的要求并不很嚴(yán)格，所以主泵抽速的選擇范圍很寬.一般是根據(jù)高真空階段真空罐內(nèi)漏、放氣總量除以最終工作真空度而得到.實(shí)踐中.一般可按主泵的額定抽速(L/s)為真空罐容積(L)的1%左右估算預(yù)選。

因?yàn)檎婵展薜睦鋺B(tài)極限真空度(1Pa)和最終工作真空度(10Pa)要求并不高，所以選用羅茨泵配

前級(jí)泵的真空系統(tǒng)是完全可以的.不過近年來VPD設(shè)備更多地采用了雙級(jí)羅茨泵真空系統(tǒng)，即在主級(jí)羅茨泵和前級(jí)泵之間加裝一個(gè)中間級(jí)羅茨泵，目的是進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，提高工作真空度和降低對(duì)主泵性能的要求。主級(jí)羅茨泵與中間級(jí)羅茨泵的抽速比在(2:1)~(4:1)范圍.按一般真空系統(tǒng)配泵規(guī)律處理即可。VPD設(shè)備所用羅茨泵的特殊之處是被抽氣體中有少量煤油蒸氣并且溫度較高。選泵時(shí)應(yīng)特別注明.使制造廠在確定羅茨泵轉(zhuǎn)子間隙、選擇泵內(nèi)密

封材料的過程中加以專門考慮。另外.一般選用帶有旁通閥的羅茨泵。