由于真空系統(tǒng)需要大量的水進行冷卻。為節(jié)約用水，我們一般采用閉環(huán)冷卻水系統(tǒng)提供真空泵冷卻水。在系統(tǒng)運行時，冷凝器和真空泵水箱熱交換處溫度將達到100℃甚至更高，水中的礦物質將發(fā)生化學反應，特別是在南方，水質偏酸且富含礦物質，極易在真空泵冷卻水腔或冷凝器冷卻管結垢，導致冷卻效果變差，致使真空泵運行溫度偏高、從而造成真空泵油封、軸承損壞，甚至引發(fā)真空泵嚴重損壞。因此必須定期檢查冷卻水水質及真空泵冷卻水腔。
在對冷卻水系統(tǒng)投放藥劑前應進行掛片試驗。取與冷凝器和真空泵水腔相同材質的薄片浸泡在藥劑中。在規(guī)定時間后，對藥劑中腐蝕薄片含量按國標或行業(yè)標準進行對照，以此來決定藥劑投放類型及數量。
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